光电产业ITO废料铟回收技术之开发

在光电产业蓬勃发展带动下，全球TFT-LCD显示器需求量提升，使ITO透明导电薄膜成为金属铟的主要用途。依据美国国家地质调查局统计，2014年全球铟总产量与总需求量分别为820吨与1,500吨，造成铟资源供不应求的窘境日益严重。

本计划将探讨以环保性湿式冶金技术回收光电产业ITO废料中的金属铟，并评估该技术于国内发展之可行性，以达到废弃物资源化的目的，亦可同时简化铟回收技术处理程序，减少能源消耗，实为目前具特殊创新与潜力之资源化贵金属回收技术。

光电产业主要排放的含铟废弃物为ITO废靶材、磁控溅射制程上废料与废LCD显示器等ITO废料，以及含铟清洗废液与LCD显示器蚀刻废液等ITO废料。

ITO废靶材：以直流溅射镀膜的ITO靶材利用率约30~50%，且绝大部分之ITO材料于制程中浪费在溅镀腔室内，所以ITO废靶材及其废料是铟二次资源的最大来源。

废LCD显示器：将制程上的不良品或使用后得废LCD显示器拆解后，可得含有ITO镀层的玻璃基板，其铟含量不高。

含铟清洗废液：含铟清洗废液为使用高纯度金属铟前，先以酸液清洗表面氧化层后所收集到的含铟清洗废液，含铟量约10%以下。

LCD显示器蚀刻废液：LCD显示器制造厂常以蚀刻液进行液晶面板蚀刻，制成废液的含铟量约200ppm。