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榮獲2015年行政院環保署環保創新科技研發計劃--光電產業ITO廢料銦回收技術之開發

2015-06-03

 

「光電產業ITO廢料銦回收技術之開發」

 

在光電產業蓬勃發展帶動下,全球TFT-LCD顯示器需求量提升,使ITO透明導電薄膜成為金屬銦的主要用途。依據美國國家地質調查局統計,2014年全球銦總產量與總需求量分別為820噸與1,500噸,造成銦資源供不應求的窘境日益嚴重。

 

本計畫將探討以環保性溼式冶金技術回收光電產業ITO廢料中的金屬銦,並評估該技術於國內發展之可行性,以達到廢棄物資源化的目的,亦可同時簡化銦回收技術處理程序,減少能源消耗,實為目前具特殊創新與潛力之資源化貴金屬回收技術。

 

光電產業主要排放的含銦廢棄物為ITO廢靶材、磁控濺射製程上廢料與廢LCD顯示器等ITO廢料,以及含銦清洗廢液與LCD顯示器蝕刻廢液等ITO廢料。

 

ITO廢靶材:以直流濺射鍍膜的ITO靶材利用率約30~50%,且絕大部分之ITO材料於製程中浪費在濺鍍腔室內,所以ITO廢靶材及其廢料是銦二次資源的最大來源。

 

廢LCD顯示器:將製程上的不良品或使用後得廢LCD顯示器拆解後,可得含有ITO鍍層的玻璃基板,其銦含量不高。

 

含銦清洗廢液:含銦清洗廢液為使用高純度金屬銦前,先以酸液清洗表面氧化層後所收集到的含銦清洗廢液,含銦量約10%以下。

 

LCD顯示器蝕刻廢液:LCD顯示器製造廠常以蝕刻液進行液晶面板蝕刻,製成廢液的含銦量約200ppm。

 

 

 
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